Vysoce výkonná keramika pro polovodiče
S více než 120 lety odborných zkušeností v oblasti technické keramiky a hlubokými znalostmi polovodičového průmyslu jsme spolehlivým partnerem pro vysoce výkonné keramické komponenty. Díky špičkovým materiálům, inovativním procesům a vynikajícím vlastnostem našich produktů jsme preferovaným dodavatelem jak keramických strukturálních komponent (structure parts) tak i vakuových upínačů (vacuum chucks).
Objevte výhody širokého portfolia našich keramických materiálů a využijte naše know-how pro optimalizaci vašich výrobních procesů.
Nevyrábíme jen keramické komponenty – přizpůsobujeme je vašim specifickým potřebám, abyste mohli své procesy řídit s maximální flexibilitou a spolehlivostí. Z výrobce špičkových keramických součástí jsme se stali strategickým vývojovým partnerem, který promění vaše individuální požadavky v nejmodernější polovodičová řešení.
Široké spektrum materiálů pro vaše individuální potřeby
Pro každou vaši individuální potřebu nalezneme technické řešení šité na míru – naše vysoce výkonné keramické komponenty zajišťují dlouhou životnost, maximální přesnost a spolehlivost
v každém kroku výrobního procesu.
Společnost CeramTec nabízí ideální keramický materiál pro každou vaši aplikaci:
- Al₂O₃ – vysoká čistota a tuhost
- AlN – vysoká tepelná vodivost a elektrická izolace
- SiSiC – nízká tepelná roztažnost a nízká hustota
- Si₃N₄ – vynikající houževnatost a minimální tepelná roztažnost
Doporučíme vám optimální materiál přizpůsobený vašim specifickým požadavkům a zajistíme nejvyšší výkon pro vaše aplikace. Neustále zdokonalujeme klíčové výrobní procesy
a rozšiřujeme naše výrobní kapacity, abychom vám poskytli nejmodernější řešení pro vaše specifické potřeby.
Vylepšené klíčové kroky procesu, které splňují vysoké požadavky průmyslu
| DŮLEŽITÝ KROK PROCESU | TECHNICKÉ PARAMETRY | DOSAŽITELNÉ HODNOTY/POŽADAVKY |
| Tvrdé obrábění - frézování | Rovinnost, rovnoběžnost, Ra | Plochost < 1 μm Ra ≥ 0,05 μm |
| Broušení | Rovinnost | 5 μm < Ø 200 mm / 10 μm > Ø 200 mm |
| Rovnoběžnost | 5 μm < Ø 200 mm / 10 μm > Ø 200 mm | |
| Drsnost | Ra od 0,15 μm do 0,6 μm | |
| Erodování | Symetrické polohování | do 0,05 mm (umístění otvorů/drážek) |
| Lapování a leštění | Rovinnost, Rovnoběžnost, Drsnost | Ra od 0,06 μm do 0,35 μm Plochost < 2 μm Rovnoběžnost < 2 μm |
| Strukturování | Drsnost | Drsnost < 3,2 μm Velikost < 150 μm |
| Speciální měření | Lokální sklon / Lokální rovinnost | Rozlišovací schopnost objektivu 50 nm - 25 μrad |
| Čištění a balení | Stupeň čistoty | ISO 5 / čistý prostor 100 / balení v čistém prostoru (na přání zákazníka) |
